| 申请日期 | 2025-07-17 | 申请号 | CN201610144237.6 |
| 公开（公告）号 | CN105803406A | 公开（公告）日 | 2016-07-27 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 | ||
| 简介 | 本发明公开了一种稀土 过渡合金旋转靶材的制备方法及其制备靶材，所述方法包括：稀土过渡金属合金的制备，真空浇注稀土过渡金属合金中空靶管，热等静压浇注好稀土过渡金属合金靶管，机械加工，铟绑定。通过本方法制备的稀土过渡合金旋转靶材，成分均匀，相对密度可达到99.9％，纯度可达到99.99％，长度不受限制，克服了旋转靶材成分偏析，脆性大等缺点，降低了靶材的孔隙率，使其在使用过程中稳定放电，从而提高磁光记录介质薄膜的品质。另外，该方法工艺简单，操作方便，在热等静压时，不需要常规的包套及氩弧焊，减少后续工序，可对靶管直接进行热等静压，降低生产成本。 | ||
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