申请日期 | 2025-06-24 | 申请号 | CN202011294438.7 |
公开(公告)号 | CN112195452B | 公开(公告)日 | 2021-12-31 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | ||
简介 | 本发明提供一种甲醇环境耐蚀耐磨导电六硼化镧复合碳薄膜,是采用多靶磁控溅射沉积系统,在基体表面依次沉积Cr层、CrN层、CrC层、CrCx(LaB6)y、Cx(LaB6)y而得。本发明在基底表面引入稀土元素Cr、La,不仅可以形成非晶纳米晶复合结构,同渐变同层结构的多界面共同作用,提高了基底的耐腐蚀性能;六硼化镧的多电子发生性能提高了等离子离化率,促进碳结构的石墨化,提高复合薄膜的导电性能;通过多层结构设计形成多界面阻隔层,防止多次冲击磨损导致的裂纹,为腐蚀液体提供离子通道的可能,并提高了基底承载力;利用高功率脉冲磁控溅射技术,赋予Cr更高的离化率和离子能量,形成多层结构与基底的高强度粘结。 |
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