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一种稀土铥离子注入二氧化钛晶体的制备方法 发明申请

2023-12-17 3600 308K 0

专利信息

申请日期 2025-07-16 申请号 CN201610162480.0
公开(公告)号 CN105568391A 公开(公告)日 2016-05-11
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 中国矿业大学
简介 一种稀土铥离子注入二氧化钛晶体的制备方法,属于二氧化钛晶体的制备方法。该二氧化钛晶体的制备方法利用离子注入技术在二氧化钛(TiO2)晶体中注入稀土铥离子,注入后样品在氧氛围中高温退火处理;首先采用40keV-350keV范围内五种不同能量,总剂量为1.25×1015离子/平方厘米的铥离子注入二氧化钛晶体表面,注入靶室温度为600℃;注入后样品在800℃~1000℃温度范围内进行退火处理;所制备的铥离子注入二氧化钛晶体可以在1420nm-1450nm波段有效实现Tm元素荧光发射。优点:采用多能量及多剂量的铥离子注入TiO2晶体在较宽深度范围内获得较均匀的铥离子浓度分布,采用600℃高温靶室注入减少了晶格损伤;制备的铥离子注入二氧化钛晶体在800℃高温退火30分钟之后,获得最佳的1420nm-1450nm波段的Tm元素荧光发射。


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