用于电浆处理腔室部件的覆层发明申请

2023-02-12 4620 673K 0

申请日期	2026-04-25	申请号	TW110105272
公开（公告）号	TW202147381A	公开（公告）日	2021-12-16
公开国别	TW	申请人省市代码	全国
申请人	美商兰姆研究公司
简介	提供一种在电浆处理室中用之含铝元件体上提供覆层的方法。在元件体上形成阳极化层。研磨阳极化层以减少表面粗糙度。借由气溶胶沉积、电浆汽相沉积、及原子层沉积中之至少一者将含稀土层沉积在经研磨之阳极化层上。

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