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陶瓷加热器及其制造方法 发明授权

2023-05-08 2730 12215K 0

专利信息

申请日期 2025-08-28 申请号 TW099109333
公开(公告)号 TWI501684B 公开(公告)日 2015-09-21
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 日本碍子股份有限公司
简介 本发明的目的在於不使用虚置元件,而提高陶瓷加热器的加热面的温度的均一性。本发明的陶瓷加热器的制造方法为,在体积电阻率1015Ωcm以上的氮化铝烧结体构成的一对的外层30、30,中间隔着金属网状物构成的电阻发热体14、16,而夹住以氮化铝粉末作为主体、且包含0.03~1重量%的稀土类氧化物粉末的低温烧结原料粉构成的内层成形体32的正反两面的状态下,於1600~1750℃煅烧而得到陶瓷加热器10。


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