申请日期 | 2025-08-28 | 申请号 | TW099109333 |
公开(公告)号 | TWI501684B | 公开(公告)日 | 2015-09-21 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 日本碍子股份有限公司 | ||
简介 | 本发明的目的在於不使用虚置元件,而提高陶瓷加热器的加热面的温度的均一性。本发明的陶瓷加热器的制造方法为,在体积电阻率1015Ωcm以上的氮化铝烧结体构成的一对的外层30、30,中间隔着金属网状物构成的电阻发热体14、16,而夹住以氮化铝粉末作为主体、且包含0.03~1重量%的稀土类氧化物粉末的低温烧结原料粉构成的内层成形体32的正反两面的状态下,於1600~1750℃煅烧而得到陶瓷加热器10。 |
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