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一种稀土元素Sm掺杂GaN纳米线的制备方法 发明申请

2023-05-06 2040 861K 0

专利信息

申请日期 2025-07-31 申请号 CN201510172966.8
公开(公告)号 CN104894531A 公开(公告)日 2015-09-09
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 新疆大学
简介 本发明公开了一种制备稀土元素Sm掺杂GaN纳米线的制备方法:本方法为化学气相沉积法制备稀土元素Sm掺杂GaN纳米线,反应系统主要有真空系统、气路系统和水平管式炉三部分组成,高纯Ga2O3粉、高纯Sm2O3、NH3分别作为Ga源、Sm源和N源,称取一定比例的Ga2O3和Sm2O3粉体,研磨均匀混合后盛放到陶瓷舟中,一并置于炉管中央,同时下游低温区放置Si衬底,密封,将系统压强抽至1×10-3Pa,通入Ar,加热至1100℃时,改通NH3,保温2小时,将NH3转换为Ar,冷却至室温,取出Si衬底封存。


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