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具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器 发明申请

2023-02-22 3260 1827K 0

专利信息

申请日期 2025-06-28 申请号 CN201510088834.7
公开(公告)号 CN104868871A 公开(公告)日 2015-08-26
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 安华高科技通用IP(新加坡)公司
简介 本发明涉及具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器。一种体声波BAW谐振器包含第一电极、第二电极和安置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电层。所述压电层包含掺杂有至少一种稀土元素的压电材料。在一实施例中,所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凹陷框架元件。在另一实施例中,所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凸起框架元件。在又其它实施例中,所述BAW谐振器包含所述凸起框架元件与所述凹陷框架元件两者。


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