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SPEICHERARRAY-GATESTRUKTUREN 发明申请

2023-08-23 3340 4957K 0

专利信息

申请日期 2025-07-07 申请号 DE102020127831
公开(公告)号 DE102020127831A1 公开(公告)日 2021-12-02
公开国别 DE 申请人省市代码 全国
申请人 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd
简介 A memory cell includes a thin film transistor over a semiconductor substrate. The thin film transistor comprising : a ferroelectric (FE) material contacting a word line, the FE material being a hafnium-comprising compound, and the hafnium-comprising compound comprising a rare earth metal; and an oxide semiconductor (OS) layer contacting a source line and a bit line, wherein the FE material is disposed between the OS layer and the word line.


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