紫外光产生用靶、电子束激发紫外光源、以及紫外光产生用靶的制造方法发明申请

2023-07-05 2290 5136K 0

申请日期	2026-04-19	申请号	CN201380055584.6
公开（公告）号	CN104755584A	公开（公告）日	2015-07-01
公开国别	CN	申请人省市代码	全国
申请人	浜松光子学株式会社
简介	一种紫外光产生用靶，其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含为粉末状或粒状的添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石晶体。发光层的紫外发光峰值波长为300nm以下。

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