申请日期 | 2025-07-10 | 申请号 | CN201520090391.0 |
公开(公告)号 | CN204391491U | 公开(公告)日 | 2015-06-10 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | ||
简介 | 本实用新型提供了一种激光微焦点等离子体Kα射线源,本实用新型包括真空靶室系统,由真空管道连接的机械泵、分子泵;机械泵作为前级,分子泵通过法兰口与靶室相连;所述电磁辐射屏蔽层为圆筒形聚四氟乙烯层, 通过螺栓固定于真空靶室壁;所述激光束聚焦装置为一块F/3离轴抛物镜,放置于真空靶室内固定底座上。靶运动系统,由六维步进电机和靶架组成,靶架位于靶室中心, 望远瞄准系统中轴线上。望远瞄准系统,由一台长焦距望远镜以及可见光CCD组成,通过转接法兰连接到真空靶室上。电子束偏转装置为一块环形稀土永磁铁,位于在靶架之后, 样品台之前。 |
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