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一种非氧化物Y3Si2C2烧结助剂、高性能氮化硅陶瓷基板及其制备方法 发明申请

2023-02-05 2190 352K 0

专利信息

申请日期 2025-07-22 申请号 CN202111000404.7
公开(公告)号 CN113697810A 公开(公告)日 2021-11-26
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 广东工业大学
简介 本发明公开了一种非氧化物Y3Si2C2烧结助剂、高性能氮化硅陶瓷基板及其制备方法,涉及氮化硅陶瓷制备技术领域。本发明提供的非氧化物Y3Si2C2烧结助剂的制备方法,以碳化硅和金属钇为主原料,辅以氯化钠,氯化钾,通过熔盐法制备,在常规固相反应中引入低熔点盐作为助熔剂来合成非氧化物Y3Si2C2的一种新的合成方法;可以获得一种非氧化物Y3Si2C2烧结助剂。本发明提供的高性能氮化硅陶瓷基板的制备方法,以非氧化物Y3Si2C2和稀土氧化物作为烧结助剂,其加入有助于降低氧化物烧结助剂中氧杂质的引入,促进烧结致密;选用的烧结助剂可与氧杂质反应,净化晶格,有效提高热导率。


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