客服热线:18202992950

研磨材粒子、研磨材之制造方法及研磨加工方法 发明申请

2022-12-25 2000 8715K 0

专利信息

申请日期 2025-06-28 申请号 TW103126891
公开(公告)号 TW201520323A 公开(公告)日 2015-06-01
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 柯尼卡美能达股份有限公司
简介 本发明的课题在于提供:抛光材料粒子,其具有适合于精密抛光的抛光性能,并且具有高的抛光速度和高的单分散性; 包含所述抛光材料颗粒的抛光材料; 以及使用该抛光材料的抛光处理方法。 本发明的研磨材料粒子的特征在于,是平均纵横比为1.00~1.15的球状粒子, 其中由粒径累积分布曲线确定的抛光材料颗粒的粒径(d50(nm))在50-1500nm的范围内, 以及铈的平均含量或铈与选自镧(La)中的至少一种元素的总含量, 抛光材料颗粒中的镨(Pr),钕(Nd),钐(Sm)和铕(Eu)相对于构成抛光材料颗粒的所有稀土元素的总含量为81摩尔%或更高。


您还没有登录,请登录后查看下载地址


反对 0举报 0 收藏 0 打赏 0评论 0
下载排行
网站首页  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报  |  京ICP备2021025988号-4