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氮化铝基复合材料及其制造方法、以及半导体制造装置用部件 发明授权

2023-05-15 3290 864K 0

专利信息

申请日期 2025-09-17 申请号 TW098135145
公开(公告)号 TWI468365B 公开(公告)日 2015-01-11
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 日本碍子股份有限公司
简介 本发明提供一种具有与氧化铝同等或其以上的耐蚀性或体积电阻率,且具有比氧化铝更高的热传导率的新颖材料。本发明的氮化铝基复合材料之除稀土金属外过渡金属、硷金属、硼的各元素分别为1000ppm以下,热传导率为40~150W/mK,热膨胀系数为7.3~8.4ppm/℃,体积电阻率为1×1014Ωcm以上;作为组成相(constituent phases)系含有AlN和MgO,进而含有从由稀土金属氧化物、稀土金属-铝复合氧化物、硷土金属-铝复合氧化物、稀土金属氧氟化物、氧化钙和氟化钙构成的群组中所选择的至少一种。


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