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Formation of metal gate electrode using rare earth alloy incorporated into mid gap metal 发明授权

2023-01-01 4960 811K 0

专利信息

申请日期 2025-06-24 申请号 US13241751
公开(公告)号 US8816446B2 公开(公告)日 2014-08-26
公开国别 US 申请人省市代码 全国
申请人 Hiroaki Niimi; Manuel Angel Quevedo Lopez
简介 Semiconductor devices and fabrication methods are provided, in which metal transistor gates are provided for MOS transistors. A rare earth-rare earth alloy incorporated metal nitride layer is formed above a gate dielectric. This process provides adjustment of the gate electrode work function, thereby tuning the threshold voltage of the resulting NMOS transistors.


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