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Ion source in which a UV/VUV light source is used for ionization 发明授权

2023-01-29 1700 554K 0

专利信息

申请日期 2025-06-26 申请号 EP01120299
公开(公告)号 EP1220285B1 公开(公告)日 2014-08-20
公开国别 EP 申请人省市代码 全国
申请人 Helmholtz Zentrum München Deutsches Forschungszentrum für Gesundheit und Umwelt (GmbH)
简介 The ion source has an ionisation chamber and a UV/VUV-excimer light source for generating ions by directing light into a sample gas. The light source is provided by a deuterium lamp, a micro hollow cathode lamp, a micro point lamp, a DC discharge lamp, a barrier discharge lamp, or an electron beam UV/VUV lamp, with an electron gun (1), a membrane (3) between the electron gun and a gas space (9) containing a rare earth gas or gas mixture and optical elements (11, 12) for imaging the light emission volume into the ionisation space (14).


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