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含稀土元素的玻璃材料和基板以及包括这种基板的器件 发明授权

2023-10-20 1900 1822K 0

专利信息

申请日期 2025-07-09 申请号 CN200980124360.X
公开(公告)号 CN102066273B 公开(公告)日 2014-06-04
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 康宁股份有限公司
简介 一种含稀土的玻璃材料,按照以氧化物为基准的摩尔百分数表示,该材料具有包含以下组分的组成:SiO2:66-75;Al2O3:11-17;B2O3:0-4;MgO:1-6.5;CaO:2-7;SrO:0-4;BaO:0-4;Y2O3:0-4;La2O3:0-4;Y2O3+La2O3:0.1-4。该组成中包含Y2O3和/或La2O3能降低玻璃的T2.3,因此能够制造较高退火点的玻璃。这种玻璃特别能用于低温多晶硅基半导体器件。


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