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POWDER FOR COATING AN ETCH CHAMBER 发明申请

2023-03-13 2050 1600K 0

专利信息

申请日期 2025-09-12 申请号 WOEP19052438
公开(公告)号 WO2019149854A1 公开(公告)日 2019-08-08
公开国别 WO 申请人省市代码 全国
申请人 SAINT GOBAIN CT RECHERCHES
简介 Particle powder, a number greater than 95% of the particles having a circularity greater than or equal to 0.85, the powder containing more than 99.8% of a rare earth oxide and/or a hafnium oxide and/or an aluminium oxide, as a percentage by weight on the basis of the oxides, and having : - a median particle size D50 less than 15 μm, a 90th percentile of the particle sizes D90 less than 30 μm, and a size dispersion index (D90 - D10)/D10 less than 2; and - a relative density greater than 90%.


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