申请日期 | 2025-06-27 | 申请号 | CN201280044092.2 |
公开(公告)号 | CN103782374A | 公开(公告)日 | 2014-05-07 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 株式会社神户制钢所 | ||
简介 | 提供一种即使曝露在450~600℃左右的高温下也不会发生小丘(ヒロック:hillock),高温耐热性优异,配线结构整体的电阻(配线电阻)也抑制得很低,此外耐氢氟酸性也优异的显示装置用配线结构。本发明的显示装置用配线结构,具有从基板侧按顺序层叠有如下Al合金的第一层和如下氮化物的第二层的构造:所述Al合金含有从由Ta、Nb、Re、Zr、W、Mo、V、Hf、Ti、Cr以及P所构成的组(X组)中选择的至少一种元素和稀土类元素的至少一种;所述氮化物是从由Ti、Mo、Al、Ta、Nb、Re、Zr、W、V、Hf和Cr所构成组(Y组)中选择的至少一种元素的氮化物或Al合金的氮化物。 |
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