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BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR HAVING PIEZOELECTRIC LAYER WITH MULTIPLE DOPANTS 发明申请

2023-10-16 1770 671K 0

专利信息

申请日期 2026-03-26 申请号 US13662460
公开(公告)号 US20140118090A1 公开(公告)日 2014-05-01
公开国别 US 申请人省市代码 全国
申请人 AVAGO TECHNOLOGIES GENERAL IP (SINGAPORE) PTE
简介 A bulk acoustic wave (BAW) resonator structure includes a first electrode disposed over a substrate, a piezoelectric layer disposed over the first electrode and a second electrode disposed over the first piezoelectric layer. The piezoelectric layer is formed of a piezoelectric material doped with multiple rare earth elements for improving piezoelectric properties of the piezoelectric layer.


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