| 申请日期 | 2025-07-09 | 申请号 | CN201210294395.1 |
| 公开（公告）号 | CN102815866B | 公开（公告）日 | 2015-03-11 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 华中科技大学 | ||
| 简介 | 本发明提供了一种光纤预制棒的掺杂装置，在改进的化学气相沉积设备上利用改进的MCVD在反应管内壁上沉积好所需的包层材料，利用气相和液相复合掺杂装置进行有源掺杂离子和共掺剂的均匀掺杂。其中气相掺杂采用结构简单成本较低的加热器直接加热气相掺杂的方式，利用加热装置恒定加热掺杂剂汽化后由载流氧导入掺杂，液相采用微孔喷射掺杂装置掺杂，将掺杂溶液通过喷射装置直接在线掺杂。利用复合掺杂装置进行稀土掺杂预制棒的制备实现了预制棒中稀土掺杂离子和共掺杂试剂以及石英基质材料二氧化硅、二氧化锗同步沉积，同时玻璃化。避免了对沉积疏松孔隙状结构层的依赖，提高了掺杂离子的浓度和种类的灵活性。 | ||
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