| 申请日期 | 2025-06-27 | 申请号 | CN201780070875.0 |
| 公开（公告）号 | CN109963825A | 公开（公告）日 | 2019-07-02 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 阔斯泰公司 | ||
| 简介 | 一种配置成与半导体加工反应器一起使用的耐腐蚀组件，该耐腐蚀组件包括：a)陶瓷绝缘基底；和b)与陶瓷绝缘基底结合的白色耐腐蚀无孔外层，所述白色耐腐蚀无孔外层具有至少50μm的厚度、至多1％的孔隙率和包含基于耐腐蚀无孔层的总重量至少15重量％稀土化合物的组成；和，c)在白色耐腐蚀无孔外层的平坦表面上测量的至少90的L*值。还公开了制造方法。 | ||
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