| 申请日期 | 2026-04-27 | 申请号 | TW107137945 |
| 公开（公告）号 | TW201925141A | 公开（公告）日 | 2019-07-01 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 美商应用材料股份有限公司 | ||
| 简介 | 含有纳米颗粒的纳米粉末，所述纳米颗粒具有带薄膜涂层的核心颗粒。 芯颗粒和薄膜涂层独立地由含稀土金属的氧化物，含稀土金属的氟化物，含稀土金属的氟氧化物或其组合中的至少一种形成。 该薄膜涂层可以使用诸如原子层沉积(ALD)的非视线技术形成。 本文还公开了由所述纳米粉末形成的纳米陶瓷材料以及制备和使用所述纳米粉末的方法。 | ||
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