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陶瓷构造体、基板保持装置用元件以及陶瓷构造体之制法 发明授权

2023-11-30 4260 1229K 0

专利信息

申请日期 2025-07-06 申请号 TW104126954
公开(公告)号 TWI664074B 公开(公告)日 2019-07-01
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 日商日本碍子股份有限公司
简介 本发明的陶瓷构造体10系在圆盘状陶瓷基体12的内部内建有电极14陶瓷基体12系主成分为氧化铝或稀土族金属氧化物的烧结体,热膨胀系数在40~1200℃下为7.5~9.5ppm/K电极14的主成分系金属钌电极14系可形成片状,亦可依扩展於面全体的方式依照一笔画要领形成图案


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