申请日期 | 2025-08-19 | 申请号 | TW096107031 |
公开(公告)号 | TWI410479B | 公开(公告)日 | 2013-10-01 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 三井金属鑛业股份有限公司; | ||
简介 | 本发明的一个目的是提供一种铈系研磨剂,其将显著提高研磨速度,同时抑制磨损划痕的产生。 本发明涉及一种铈系研磨剂,其特征在于,相对于全部稀土氧化物(即, Treo)为95质量%或更高,并且从更小的粒径观察并通过激光衍射和衍射方法评估的累积体积50%的粒径(D50)的值在1.3-4.0m的范围内。 如果通过基于Cu-K1的X-射线衍射分析评估的氧化铈中最大峰的半最大全宽为0.1-0.5°,则对于本发明的铈磨料是优选的。 2θ。 |
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