| 申请日期 | 2026-04-23 | 申请号 | CN201310165982.5 |
| 公开（公告）号 | CN103233204A | 公开（公告）日 | 2013-08-07 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 出光兴产株式会社 | ||
| 简介 | 本发明提供一种氧化物烧结体，其特征在于，除氧之外的全部原子的原子数为100原子％时，含有In(铟)24～49原子％，且具有稀土氧化物C型的结晶结构。此外，本发明还涉及溅射靶、氧化物烧结体的制造方法、氧化物薄膜、形成非晶质氧化物薄膜的方法、薄膜晶体管的制造方法以及半导体装置。 | ||
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