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一种图案化钇钡铜氧高温超导薄膜的制备方法 发明申请

2023-05-08 2560 1112K 0

专利信息

申请日期 2025-08-25 申请号 CN201310036234.7
公开(公告)号 CN103073280A 公开(公告)日 2013-05-01
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 江苏天诚线缆集团有限公司
简介 本发明公开了一种图案化钇钡铜氧高温超导薄膜的制备方法,包括:(1)低氟感光溶液的配制,有效成分的摩尔比为:稀土醋酸盐:醋酸钡:醋酸铜:三氟乙酸:丙烯酸:苯甲酰丙酮:甲醇=1:2:3~4:3~6:6~12:3~4:60~240;(2)镀膜;(3)曝光与溶洗;(4)低温预处理;(5)终处理。本发明的图案化钇钡铜氧高温超导薄膜的制备方法,在该改进的不含胺根离子的低氟溶液基础上,进一步采用化学络合技术,赋予其光性,并结合紫外曝光,溶洗,热处理,获得具有特定图案化的YBCO超导薄膜图形。这一工艺技术路线具有成本低廉,工艺周期短,薄膜微图形性能优良的特点。


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