申请日期 | 2025-06-24 | 申请号 | CN201180042487.4 |
公开(公告)号 | CN103081056A | 公开(公告)日 | 2013-05-01 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 国立大学法人东北大学 | ||
简介 | 本发明提供一种阴极体,其具有:作为基体的圆筒形杯(30);设置在圆筒形杯(30)的表面的具有SiC的阻挡层(303);以及形成在阻挡层(303)的表面的具有稀土元素的硼化物的膜,该阴极体能够防止基体的成分元素与硼化物的相互扩散。 |
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