客服热线:18202992950

Al合金膜、具有Al合金膜的配线结构以及Al合金膜的制造中使用的溅射靶 发明申请

2023-01-14 4590 2404K 0

专利信息

申请日期 2025-08-19 申请号 CN201180041104.1
公开(公告)号 CN103069042A 公开(公告)日 2013-04-24
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 株式会社神户制钢所
简介 本发明提供一种技术,在薄膜晶体管基板、反射膜、反射阳极电极、触摸屏传感器等的制造工序中,能够有效防止氯化钠溶液的浸渍下的Al合金表面的腐蚀和针孔腐蚀(黑点)等的腐蚀,耐腐蚀性优异,而且能够防止小丘的生成且耐热性也优异的Al合金膜。本发明的Al合金膜,是用于配线膜或反射膜的Al合金膜,其中,含有Ta和/或Ti:0.01~0.5原子%、稀土类元素:0.05~2.0原子%。


您还没有登录,请登录后查看下载地址


反对 0举报 0 收藏 0 打赏 0评论 0
下载排行
网站首页  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报  |  京ICP备2021025988号-4