| 申请日期 | 2026-01-22 | 申请号 | TW100134459 |
| 公开（公告）号 | TW201314761A | 公开（公告）日 | 2013-04-01 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 丽能科技股份有限公司 | ||
| 简介 | 本发明系提供一种半导体制程设备中, 系於该酸洗槽本体之部分槽外壁上附着有该发热膜体层, 其特徵在於 : 其系包含具有稀土族物质之耐热材料。藉此, 本发明之发热膜体层具有较佳之受热强度及散热特性, 进而具有较佳的发热稳定度, 易於受热, 效率更高, 更节省能源。 | ||
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