| 申请日期 | 2025-07-29 | 申请号 | TW100134458 |
| 公开（公告）号 | TW201314762A | 公开（公告）日 | 2013-04-01 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 丽能科技股份有限公司 | ||
| 简介 | 本发明系提供一种蚀刻设备的加热装置, 其系为中空管体, 并具有复数根穿越该中空管体内部空间的输送管, 且於该中空管体两端各设有一通孔, 其特徵在於该中空管体之管体外围镀覆有一发热膜体, 该发热膜体系包含具有稀土族物质之耐热材料。藉此, 本发明之加热装置具有较佳之受热强度及散热特性, 进而具有较佳的发热稳定度, 易於受热, 效率更高, 更节省能源。 | ||
|
您还没有登录，请登录后查看下载地址
|
客服热线：
手机版
二维码
