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一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法 发明申请

2023-12-13 2730 1444K 0

专利信息

申请日期 2025-07-17 申请号 CN201210568429.1
公开(公告)号 CN102976328A 公开(公告)日 2013-03-20
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 复旦大学
简介 本发明属半导体微电子、纳电子技术领域,具体为一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法。该方法以硅(Si)和一氧化硅(SiO)混合粉末为原料,在较高温度和较低气压条件下,通过添加稀土元素镧(La)作为一种特别的气化调节剂来调节硅的一维纳米材料的形貌。该方法制备出的纳米材料的形貌主要有硅纳米线、硅纳米管和硅纳米链,通过调节镧粉在混合粉末中的比例,可以得到以上三种不同形貌的硅纳米材料。该调制方法工艺简单,操作简便,与现行使用设备的兼容性强,不用大幅提升成本,能够满足现代工业的基本要求。


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