申请日期 | 2025-08-15 | 申请号 | TW100105081 |
公开(公告)号 | TW201300552A | 公开(公告)日 | 2013-01-01 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 神户制钢所股份有限公司 | ||
简介 | 本发明系提供一种显示装置用Al合金膜,其系即使曝露於450~600℃左右的高温下亦不产生突点(hillock)而高温耐热性优异,且膜本身之电阻(配线阻抗)亦低,硷环境下之耐蚀性亦优异者。本发明之显示装置用Al合金膜,其系含有选自由Ta、Nb、Re、Zr、W、Mo、V、Hf及Ti所构成之X群的至少一种元素、与稀土族元素之至少一种;进行450~600℃之加热处理时,满足下述(1)之要件;(1)对於含有Al、自X群所选出的至少一种元素、与稀土族元素之至少一种的第1析出物,以相当圆直径20nm以上之析出物为500, 000个/mm 2 以上之密度存在。 |
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