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SiC单晶的制造方法 发明申请

2023-10-07 1440 891K 0

专利信息

申请日期 2025-07-29 申请号 TW100143156
公开(公告)号 TW201250071A 公开(公告)日 2012-12-16
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 信越化学工业股份有限公司
简介 一种SiC单晶的制造方法,其包括:将SiC晶种配置於石墨坩埚内之底部部分;使含有Si、C及R(R为选自包含Sc及Y之稀土元素的至少一者)或X(X为选自由Al、Ge、Sn、及排除Sc和Y之过渡金属所组成之群组的至少一者)之溶液存在该坩埚中;将该溶液过冷以使该SiC单晶在该晶种上生长;及从该石墨坩埚上方将粉状或颗粒状Si及/或SiC原料添加於该溶液,同时保持SiC单晶之生长。


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