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一种稀土掺杂SiAlON发光薄膜及其制备方法 发明申请

2023-05-25 4910 716K 0

专利信息

申请日期 2025-06-28 申请号 CN201710961812.6
公开(公告)号 CN109666480A 公开(公告)日 2019-04-23
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所
简介 本发明涉及一种稀土掺杂SiAlON发光薄膜及其制备方法,所述薄膜以SiAlON半透明陶瓷靶材为基质、稀土氧化物靶材为发光离子源,通过磁控溅射在基片上共沉积制备,所述薄膜在紫外光激发下发射蓝光。本发明的稀土掺杂SiAlON发光薄膜还具有优良的力学性能,在发光和显示器件方面有潜在的应用前景。


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