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具有超大垂直矫顽力铁磁单晶薄膜的制备方法 发明申请

2023-04-30 3520 293K 0

专利信息

申请日期 2025-06-24 申请号 CN201210033517.1
公开(公告)号 CN102568815A 公开(公告)日 2012-07-11
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 中国科学院半导体研究所
简介 一种具有超大垂直矫顽力铁磁单晶薄膜的制备方法,包括如下步骤:步骤1:将衬底放入分子束外延设备样品架;步骤2:将衬底升至一预定温度,保持该温度一预定时间;步骤3:将衬底的温度降低至一预定温度,再利用分子束外延技术在衬底上生长缓冲层;步骤4:将衬底的降温至一预定温度,利用分子束外延技术在缓冲层上生长铁磁薄膜层。通过以上方法制备的具有超大垂直矫顽力铁磁单晶薄膜,其具有超大矫顽力、超高垂直磁各向异性和超高磁能积,同时具有工艺简单、易于集成、且不含贵金属又不含稀土元素等优点。


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