申请日期 | 2025-06-24 | 申请号 | CN201210033517.1 |
公开(公告)号 | CN102568815A | 公开(公告)日 | 2012-07-11 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | ||
简介 | 一种具有超大垂直矫顽力铁磁单晶薄膜的制备方法,包括如下步骤:步骤1:将衬底放入分子束外延设备样品架;步骤2:将衬底升至一预定温度,保持该温度一预定时间;步骤3:将衬底的温度降低至一预定温度,再利用分子束外延技术在衬底上生长缓冲层;步骤4:将衬底的降温至一预定温度,利用分子束外延技术在缓冲层上生长铁磁薄膜层。通过以上方法制备的具有超大垂直矫顽力铁磁单晶薄膜,其具有超大矫顽力、超高垂直磁各向异性和超高磁能积,同时具有工艺简单、易于集成、且不含贵金属又不含稀土元素等优点。 |
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