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氧化铈系研磨材料、其制造方法及用途 发明授权

2023-06-19 1050 730K 0

专利信息

申请日期 2025-07-09 申请号 CN200680010945.5
公开(公告)号 CN101155891B 公开(公告)日 2012-07-04
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 昭和电工株式会社
简介 本发明提供研磨速度快、可得到伤痕的发生少、表面粗糙度小的高精度研磨面,并且安全、制造工序简便、且廉价的氧化铈系研磨材料及其制造方法。本发明的氧化铈系研磨材料的制造方法,包括:(a)在含铈的轻稀土类盐的水溶液中添加沉淀剂,使轻稀土类的盐析出,得到含有轻稀土类盐粒子的第1浆液的工序;(b)在含有轻稀土类盐粒子的浆液中添加氟化剂,使轻稀土类的盐和氟化剂反应,得到含有轻稀土类氟化物粒子的第2浆液的工序;(c)将第1浆液和第2浆液混合,得到混合浆液的工序;及(d)对混合浆液进行干燥和烧成的工序。另外,本发明的氧化铈系研磨材料,是用该方法制造的。


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