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光信息记录介质用反射膜及光信息记录介质反射膜形成用溅射靶材 发明申请

2023-05-26 1240 2880K 0

专利信息

申请日期 2025-07-07 申请号 HK11109989.1
公开(公告)号 HK1155847A 公开(公告)日 2012-05-25
公开国别 HK 申请人省市代码 全国
申请人 株式会社神户制钢所
简介 [CN102084421B]本发明提供反射膜表面高精度再现形成于基板上的凹槽或凹点等,实现光信息记录介质的噪声的减小,并且具有高的反射率的Al基合金反射膜,以及对形成这样的反射膜有用的溅射靶材。本发明的光信息记录介质用反射膜用于光信息记录介质,实质上由含有2.0~15.0原子%的稀土类元素的Al基合金形成,反射膜的厚度方向的微晶尺寸为30nm以下。


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