申请日期 | 2025-07-07 | 申请号 | CN201010118165.0 |
公开(公告)号 | CN101786653B | 公开(公告)日 | 2012-05-09 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 中山大学 | ||
简介 | 本发明公开了一种掺杂稀土元素氧化锌一维纳米材料的制备方法。该方法包括步骤:将氧化锌和稀土元素的氧化物混合,研磨,压制,烧结,得到氧化锌陶瓷靶;将氧化锌陶瓷靶置于T型石英管中的钼杆上,将衬底置于氧化锌陶瓷靶的侧下方,钼杆旋转;将T型石英管抽真空,通入载流气体,气压达到400~3000Pa,加热至650~750℃;引入激光光束,将激光光束聚焦到掺有稀土元素的氧化锌陶瓷靶上,调节激光光束的脉冲频率,对掺有稀土元素的氧化锌陶瓷靶进行烧蚀溅射,溅射产物沉积到衬底上;溅射结束后,冷却至室温,衬底上形成掺杂稀土元素氧化锌一维纳米材料。本发明方法操作简单、耗时少、易于掺杂,可以大规模生产。 |
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