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低温高速生长SiC单晶的助熔剂 发明授权

2023-02-15 2350 302K 0

专利信息

申请日期 2025-07-29 申请号 CN201610705887.3
公开(公告)号 CN106119951B 公开(公告)日 2019-04-12
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 昆明理工大学
简介 本发明涉及几种低温高速生长SiC单晶的助溶剂,属于晶体生长技术领域。本发明涉及的几种助溶剂为稀土金属镨(Pr)、铈(Ce)、镧(La)、镝(Dy)和铽(Tb),SiC单晶的生长方法为顶部籽晶溶液生长法。首先,将上述任意一种助溶剂与高纯硅(≥99.9999%)一起加热熔融,然后,将装有SiC籽晶的籽晶杆伸入到熔体液面下0.5~5cm处,旋转籽晶杆或者熔融容器进行SiC单晶的生长;晶体生长结束后将籽晶杆从熔体中移出;最后,用HNO3+HF的混酸去除SiC单晶表面的残留物得到高纯SiC单晶。


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