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三元铝合金薄膜和靶 发明授权

2023-08-01 3160 559K 0

专利信息

申请日期 2025-06-25 申请号 CN200780010340.0
公开(公告)号 CN101405430B 公开(公告)日 2012-03-28
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 普莱克斯技术有限公司
简介 提供了平板显示器制造用的物理蒸气沉积靶。该靶包括一种三元合金体系,该体系以原子百分率计有数量约90~99.98的第一组分,其中第一组分是铝;数量约0.01~2.0的第二组分,其中第二组分是一种选自Nd、Ce、Dy和Gd组成的一组的稀土元素;和数量约0.01~8.0的第三组分,其中第三元素选自Ni、Co、Mo、Sc、和Hf。


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