| 申请日期 | 2025-07-07 | 申请号 | CN200780014294.1 |
| 公开（公告）号 | CN101426948B | 公开（公告）日 | 2011-12-14 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | ||
| 简介 | 本发明涉及用于成膜透明导电膜的ZnO蒸镀材料，其中包含ZnO纯度为98％以上的ZnO的粒料，粒料含有选自Y、La、Sc、Ce、Pr、Nd、Pm及Sm的1种或2种以上的稀土类元素。ZnO的粒料为多晶体或单晶体。通过以该ZnO蒸镀材料为靶材料的真空成膜法而形成的ZnO膜，能够得到良好的导电性。该真空成膜法优选为电子束蒸镀法、离子镀法或溅射法。 | ||
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