| 申请日期 | 2025-06-29 | 申请号 | TW095103165 |
| 公开（公告）号 | TWI350857B | 公开（公告）日 | 2011-10-21 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 神户制钢所股份有限公司; 钢臂功科研股份有限公司 | ||
| 简介 | 本发明系提供一种制造时以及使用时产生的扭曲(变形)较小、标靶精度可以良好且有效率的制造、而且可进行安定的成膜作业之铝－镍－稀土类元素合金溅镀靶。; 该铝－镍－稀土类元素合金溅镀靶，系含有镍与1或2个以上稀土类元素之铝基合金溅镀靶，其特徵为以2000倍以上的倍率观察垂直於该溅镀靶平面的剖面时，长径比为2.5以上的相当於圆直径0.2μm以上的化合物存在5.0×104个/mm2以上。 | ||
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