申请日期 | 2025-07-07 | 申请号 | CN201110094312.X |
公开(公告)号 | CN102219556A | 公开(公告)日 | 2011-10-19 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 上海交通大学 | ||
简介 | 一种微机电系统技术领域的单晶硅片表面制备多巴胺-稀土复合薄膜的方法,以单晶硅片作为基底材料,在其表面沉积多巴胺后,将沉积有聚多巴胺薄膜的单晶硅片膜置于稀土溶液中进行自组装,制备得到多巴胺-稀土复合薄膜。本发明通过自组装技术以多巴胺为中间连接体,制备摩擦性能优良的稀土膜,可大大提高硅基薄膜的摩擦学性能。 |
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