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一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法 发明申请

2023-03-29 2940 238K 0

专利信息

申请日期 2025-06-25 申请号 CN201910041191.9
公开(公告)号 CN109536902A 公开(公告)日 2019-03-29
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 广州市尤特新材料有限公司
简介 本发明提出了一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法,该稀土金属选择靶材的制备包括:S1、在冶炼炉内,将稀土金属放入坩埚中加热至800‑2000℃待稀土金属完全熔化至液态;S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型;S3、待模具内稀土金属冷却固化后,进行脱模,得到靶材毛坯;S4对得到的靶材毛坯进行机加工;S5、加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产,制备得到的稀土旋转靶材质量好,具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低,提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。本发明制备得到的稀土金属旋转靶材的利用率高大80%以上。


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