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一种稀土金属旋转靶材及其制造方法 发明申请

2023-08-31 1260 240K 0

专利信息

申请日期 2025-07-22 申请号 CN201910041197.6
公开(公告)号 CN109536909A 公开(公告)日 2019-03-29
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 广州市尤特新材料有限公司
简介 本发明提出了一种稀土金属旋转靶材及其制备方法,该稀土金属选择靶材的制备包括:S1、制备平均粒径D50为10‑80μm的稀土金属粉末;S2、将稀土金属粉末装入模具中;S3、将模具放入冷等静压机内压制成型,得到素胚;S4、将素胚放入烧结炉中烧结,烧结温度为800‑1400℃,保温时间10‑80小时;S5、对烧结好的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度,加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产,制备得到的稀土旋转靶材质量好,具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低,提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。


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