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METHOD FOR PRODUCING METAL OXIDE LAYERS 发明申请

2023-03-22 1750 1659K 0

专利信息

申请日期 2025-07-08 申请号 US13000809
公开(公告)号 US20110175207A1 公开(公告)日 2011-07-21
公开国别 US 申请人省市代码 全国
申请人 Hanno Schnars; Mathias Wickleder; Katharina Al Shamery
简介 The invention relates to a method for producing metal oxide layers from oxides of rare earth metals on silicon-containing surfaces, to the device used to carry out the coating method, and to the use of the starting materials used in the method according to the invention for the coating method.


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