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Non-volatile semiconductor memory device and its manufacturing method 发明授权

2023-08-27 1160 282K 0

专利信息

申请日期 2025-06-27 申请号 JP2006067640
公开(公告)号 JP4719035B2 公开(公告)日 2011-07-06
公开国别 JP 申请人省市代码 全国
申请人 Toshiba3078
简介 A memory cell in a nonvolatile semiconductor memory device includes a tunneling insulating film, a floating gate electrode made of a Si containing conductive material, an inter-electrode insulating film made of rare-earth oxide, rare-earth nitride or rare-earth oxynitride, a control gate electrode, and a metal silicide film formed between the floating gate electrode and the inter-electrode insulating film.


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