| 申请日期 | 2026-03-03 | 申请号 | TW095111981 |
| 公开(公告)号 | TWI338036B | 公开(公告)日 | 2011-03-01 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 昭和电工股份有限公司 | ||
| 简介 | 本发明提供一种氧化铈系研磨剂,该氧化铈系研磨剂能够以廉价的工序安全且容易地制造研磨面,该研磨面的划痕少,表面粗糙度小且精度高。 另外,本发明提供铈系研磨剂的制造方法。 该制造方法包括:(a)将沉淀剂加入到含铈轻稀土盐的水溶液中以沉淀轻稀土盐,从而得到含有轻稀土盐颗粒的第一浆料; (b)向含有轻稀土盐颗粒的浆料中加入氟化剂,使轻稀土盐与氟化剂反应,从而得到含有轻稀土氟化物颗粒的第二浆料; (c)混合第一浆料和第二浆料,得到混合浆料; (d)干燥和焙烧混合浆料。 本发明的铈基磨料由该制造方法制造。 | ||
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