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Al-Ni sputtering target-rare earth element 发明授权

2023-08-05 4140 538K 0

专利信息

申请日期 2025-07-17 申请号 JP2005037937
公开(公告)号 JP4579709B2 公开(公告)日 2010-11-10
公开国别 JP 申请人省市代码 全国
申请人 Kobe Steel Ltd1199; Kobelco Co for scientific research130259
简介 An Al-base alloy sputtering target comprising Ni and one or more rare earth elements, wherein there are 5.0 × 10 4 /mm 2 or more compounds whose aspect ratio is 2.5 or higher and whose equivalent diameter is 0.2µm or larger, when a cross sectional surface perpendicular to the plane of the target is observed at a magnification of 2000 or higher.


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