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Semiconductor device with gate dielectric containing mixed rare earth elements 发明授权

2023-04-29 4680 2106K 0

专利信息

申请日期 2025-06-25 申请号 US11278397
公开(公告)号 US7816737B2 公开(公告)日 2010-10-19
公开国别 US 申请人省市代码 全国
申请人 Robert D Clark
简介 A semiconductor device, such as a transistor or capacitor, is provided. The device includes a substrate, a gate dielectric over the substrate, and a conductive gate electrode film over the gate dielectric. The gate dielectric includes a mixed rare earth oxide, nitride or oxynitride film containing at least two different rare earth metal elements.


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